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三瓶全自動特氣柜

規格：三瓶工藝氣瓶，全自動，帶吹掃N2

■ 特氣柜尺寸：W1100寬×D500深×H1800高

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口

■ 氣動隔膜閥：CDA驅動，1/4"卡套接口

■ VENT排空管：1/2MVCR接口

■ 工藝氣體出口：2個，1/4"MVCR接口

■ 盤面規格：1/4"盤面

■ 標準配備：自動切換，防爆防腐柜體，雙開防爆自鎖門，防爆玻璃觀察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L

■ 柜體換氣量:4"排氣口，1200次/小時

■ 控制柜尺寸：W1100寬×D230深×H320高

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護

■ 操作界面：7"彩色觸摸屏

■ 選配：工藝氣瓶重量監控器，工藝氣體超壓報警，盤面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話通知

適用范圍：

應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，適用于芯片半導體、光伏太陽能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業。