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TFT-LCD制造工藝過程需要用到多種超高純的特種氣體，根據TFT陣列工藝中的各種膜的組成結構,分析了特氣在成膜、刻蝕和清洗等工藝過程中的主要物理和化學過程。

工藝制程中會使用到易燃易爆/有毒有害/腐蝕性等各類特種氣體SiH4，NH3，CL2等，特氣輸送系統就是把以上各種特種氣體安全、穩定的、以滿足工藝制程要求的壓力和流量等供應至工藝設備，并且特氣系統本身在供應輸送過程中不會對特種氣體產生二次污染。

服務范圍：為客戶設計整套特氣系統方案（除特氣供應），特氣設備選型、配置設計至相應配套的工藝管道布置安裝，為客戶提供符合工藝需求的特氣輸送成套系統，并按客戶要求進行針對空間管理及需求配置。