POU工藝氣體管路的設(shè)計(jì)思路
高純氣體管路的設(shè)計(jì)，所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。
江西瑞斯達(dá)流體工程技術(shù)有限是一家專業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)整體解決方案服務(wù)商，公司業(yè)務(wù)涵蓋電子特氣系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)、高純氣體管道、特殊工藝氣體二次配管系統(tǒng)、氫能源供氣系統(tǒng)、模塊化高壓儲(chǔ)氣供氣系統(tǒng)等，提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測(cè)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品。
公司自主研發(fā)及生產(chǎn)氣體半自動(dòng)切換匯流排、氣體減壓器、管閥件、接頭；氣體混合配比儀；超高純供氣面板；特氣柜、VMB閥門箱；科研測(cè)試設(shè)備；超高壓、超低溫氣體系統(tǒng)；高真空系統(tǒng)；氣體取樣系統(tǒng)等產(chǎn)品，經(jīng)國(guó)家認(rèn)證實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)合格，廣泛應(yīng)用于高校實(shí)驗(yàn)室、科研檢測(cè)單位、半導(dǎo)體、微電子、生物制藥、醫(yī)療、光伏、LED、石油化工、電力、新材料、新能源等領(lǐng)域。
工程服務(wù)覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案與全國(guó)各大院校科研所合作研發(fā)的多個(gè)實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目，并取得了可喜的成績(jī)。同時(shí)為眾多高新技術(shù)企業(yè)和上市企業(yè)提供了優(yōu)良的氣體應(yīng)用系統(tǒng)服務(wù)，保障其生產(chǎn)和設(shè)備的可靠運(yùn)行！公司實(shí)行以設(shè)計(jì)、施工、材料配送為一體化的整裝模式，充分滿足不同消費(fèi)群體的氣體使用要求。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
對(duì)于特殊氣體來(lái)講，氣體品種多，有毒有害氣體多，原來(lái)是一機(jī)臺(tái)配一氣柜，高昂的裝備組合和維修費(fèi)用大大增加了投資成本，且有的還布置在工藝間內(nèi)，存在著泄漏的安全隱患。現(xiàn)在廣泛采用集中供氣系統(tǒng)，氣柜集中，自控系統(tǒng)不斷完善，其報(bào)警、噴淋、切換、吹掃多較為成熟，特氣間也與工藝間隔離，并對(duì)房間有防爆要求，工作的安全性大大提高。
以上就是我們簡(jiǎn)單介紹的POU工藝氣體管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)述，希望能給大家提供參考。