電子特氣輸氣系統設備配置規范
電子特種氣體管道系統
1、GC、GR可使用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣（源）瓶（單瓶型），外置雙工藝氣瓶 內置吹掃氮氣和內置雙工藝氣瓶等多種結構配置吹掃氮氣。
2、GC、GR應設置工作氣面板。
3、系統的供給能力應通過熱力學和流體力學計算驗證。
4、氣瓶柜關閉時，負壓不小于100Pa，柜內換氣次數不小于300次/H。
5、GC板的厚度不應小于2.5mm，并應有腐蝕涂層。
6、GC門應具有自動關閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗。地腳螺栓的設計應滿足當地抗震設防烈度的要求。
電子特種氣體管道系統
特殊氣體系統安全要求
1. 嚴禁將不相容的氣瓶放在同一氣瓶柜或氣瓶架內。
2、天然、易燃、有毒、腐蝕性氣瓶柜應在排氣口安裝氣體檢漏儀。
3、GC、GR應設置清晰明確的安全標志
那么電子供氣系統的配置有哪些要求呢？
電子輸氣系統非常安全，對設備配置有很多要求。在操作設計上也有很多要求。本節主要介紹電子氣體輸送系統的安裝規范和特種氣體系統的安全要求。
電子特氣管道供氣系統概述
在現代半導體、科研實驗室、綜合工廠的集中供氣系統中，氣瓶柜、氣瓶架已經成為氣瓶氣體的標準設備，那么這些GR對GC的配置有哪些要求呢？相信很多業主和用戶都沒有一個明確的概念。只有了解了標準化要求，才能在工廠和實驗室建設中合理規劃布局和安全使用。
